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北京金盛微纳科技有限公司

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RIE-24000反应离子刻蚀机(带Load_Lock装置)
本设备带有进/取样室、真空锁和机械手自动送/取样片装置。主要用于平板显示中玻璃基板上 （500×400mm）刻蚀SiO2，Si3N4等。 		2018-06-25
RIE-3反应离子刻蚀机
 2018-06-05
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